Der Friedhof wurde am 22. Oktober 1893 eingeweiht. Zu dieser Zeit bestand die Friedhofsgemeinde nur aus den politischen Gemeinden Kleinzschachwitz und Großzschachwitz, die beide 1891 gegründet wurden. Im Juli 1893 erwarb die Friedhofsgemeinde etwa zwei Hektar Land auf der Meußlitzer Flur von einer Frau Kunath.

Bis Ende des 19. Jahrhunderts gehörten die Gemeinden Kleinzschachwitz, Großzschachwitz, Meußlitz, Sporbitz und Zschieren zur Kirchgemeinde Dohna. Diese fünf Gemeinden bildeten seit 1835 eine Schulgemeinde und waren durch den gemeinsamen Unterricht im 1823 von Fürst N. A. Putjatin gestifteten Schulhaus in Kleinzschachwitz verbunden. Mit der wachsenden Einwohnerzahl in den Gründerjahren und den veränderten Ansprüchen wuchs auch der Wunsch nach einer örtlichen Kirchgemeinde. Der beschwerliche Weg zur Kirche und zum Friedhof im sieben Kilometer entfernten Dohna war nicht mehr zeitgemäß. Daher wurde 1879 der „Kirchliche Verein zu Kleinzschachwitz“ gegründet, der Gottesdienste und andere kirchliche Handlungen durch den Pfarrer aus Dohna in einem Raum des Schulhauses ermöglichte. Als 1880 die Schulgemeinde eine Turnhalle erbaute, unterstützte der „Kirchliche Verein“ dieses Vorhaben finanziell und richtete die Turnhalle so ein, dass sie für Gottesdienste genutzt werden konnte.

1896 beschlossen die Gemeinden Meußlitz und Zschieren, der Friedhofsgemeinde beizutreten. Auf dem Friedhofsgelände wurde 1894 ein Parentationsgebäude (Feierhalle) durch den ortsansässigen Zimmermeister Ernst Noack errichtet, und zwei Glocken wurden von der Gemeinde Zuschendorf käuflich erworben.

Am 28. April 1901 erhielt die Kirchgemeinde das Friedhofsareal von den politischen Gemeinden Klein- und Großzschachwitz. 1928 wurde eine neue, größere Feierhalle durch den Architekten Rudolf Kolbe aus Loschwitz errichtet. 1937 erfolgte die Eingliederung des gesamten Kirchgeländes in die Gemeinde Zschachwitz, und der Name der Kirchgemeinde änderte sich in „Kirche und Pfarramt Zschachwitz“. Anlässlich des 50-jährigen Bestehens der Kirchgemeinde erhielt sie 1947 den Namen „Stephanusgemeinde Dresden-Zschachwitz“.